From 100's to 1000's of Watts
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| These "downstream" plasma systems use a unique design that allows the creation of long lived chemicals using RF. Since high rate of dissociation can be maintained at low power these systems allow processing near room temperature. An outside "band heater" can raise the temperature of the samples increasing the rate of removal. | |||||||||||||||||||
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| Downstream "Plasma Sources" | |||||||||||||||||||
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From 100's to 1000's of SCCM From 100's to 1000's of Watts |
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| These modular "downstream / remote" plasma sources generate high concentration of reactive neutrals (O, NO, F, etc..) for the removal of organics and inorganics. | |||||||||||||||||||